我們所知道的電離真空計(jì):電離真空計(jì)是測(cè)量高真空的主要真空計(jì)。在低壓強(qiáng)氣體中，氣體分子被電離所生成的正離子數(shù)與氣體的壓強(qiáng)，即氣體分子的密度成正比。利用此原理制成的真空計(jì)叫電離真空計(jì)。按照產(chǎn)生離子方法的不同，利用由熱陰極發(fā)射電子，使氣體分子電離的原理制成的真空計(jì)叫熱陰極電離真空計(jì)。利用在強(qiáng)電場(chǎng)和強(qiáng)磁場(chǎng)作用下，由冷陰極放電作用使氣體分子電離的原理制成的真空計(jì)，叫冷陰極電離真空計(jì)。

　　現(xiàn)將熱陰極電離真空計(jì)的工作原理簡(jiǎn)介如下，熱陰極電離真空計(jì)，由熱陰極電離規(guī)管和測(cè)量?jī)x器組成。測(cè)量?jī)x器由規(guī)管工作電源，發(fā)射電流穩(wěn)壓裝置和離子流測(cè)量放大器等部分組成。熱陰板電離規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個(gè)三極管(圖9),管內(nèi)有陰極、柵極和收集極。收集極電位，相對(duì)于陰極為負(fù)電位;柵極電位，相對(duì)’于陰極為正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射出電子。此電子在到達(dá)柵極過(guò)程中，同氣體分子碰撞發(fā)生電離，產(chǎn)生正離子和電子。當(dāng)發(fā)射電流一定時(shí)，正離子的數(shù)目與被測(cè)氣體壓強(qiáng)成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測(cè)量電路放大就可由指示電表讀出被測(cè)系統(tǒng)真空度。

　　一般低真空測(cè)量和高真空測(cè)量不能用一種真空計(jì)來(lái)完成，因而采用復(fù)合真空計(jì)。目前，應(yīng)用*廣的是電離與熱偶式復(fù)合真空計(jì)。它的漢l量范圍為10-1-5x10一托。10-'---10-.托低真空由熱偶真空計(jì)測(cè)量，l。一“-5x10一托高真空由電離真空計(jì)測(cè)量。復(fù)合真空計(jì)附有一個(gè)熱偶規(guī)管、一個(gè)電離規(guī)管，分別插在被測(cè)真空系統(tǒng)上。通過(guò)復(fù)合真空計(jì)上的旋紐，分別給兩個(gè)規(guī)曹加熱，并選擇使用。

　　真空系統(tǒng)量裝置等部分組成真空系統(tǒng)由真空泵、管道、真空閥門(mén)、真空測(cè)爐的技術(shù)性能。真空系統(tǒng)配置的好壞，真空系統(tǒng)應(yīng)滿足直接影響真空熱處理：

　　第一，真空系統(tǒng)必須滿足真空室所要求的極限真空，并要有足夠的抽氣速率。為了達(dá)到真空室所要求的極限真空，必須選擇合適的真空泵。由于真空泵處于極限真空時(shí)，其抽速為零，而被抽真空室由于有漏氣、爐料放氣等因熟所以，選擇真空泵的極限真空度，要比真空室的極限真空高1^-2個(gè)數(shù)量級(jí)。例如，真空室的極限真空度要求5x10-t托，那末，選擇真空泵的極限真空度就應(yīng)是5x10-'^'5x10-‘托。真空泵的抽氣速率應(yīng)大于爐料和爐內(nèi)結(jié)構(gòu)材料的放氣速率及真空室的漏氣率。

　　第二，真空室的工作壓強(qiáng)應(yīng)與真空泵的*佳工作壓強(qiáng)范圍相適應(yīng)。*佳工作壓強(qiáng)，就是在此壓強(qiáng)范圍時(shí)，泵有較大的抽速。